极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷底部形貌检测方法

一种极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷底部形貌检测方法。该方法包括建模和检测两部分。在建模阶段，首先利用光刻仿真软件仿真含多层膜相位型缺陷的空白掩模在不同照明条件下的空间像。然后采用傅里叶扫描相干衍射成像技术(Fourier Ptychography Imaging，FPI)对空间像进行相位恢复，最后利用人工神经网络建立以空间像信息为输入、掩模多层膜相位型缺陷底部形貌参数为输出的检测模型。在检测阶段，采集实际掩模空间像，利用检测模型求解出实际掩模缺陷的底部形貌参数，实现掩模多层膜相位型缺陷底部形貌检测。本发明可快速准确检测极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷底部的形貌。
中国科学院上海光学精密机械研究所
成维 | 李思坤 | 王向朝 | 张恒 | 孟泽江