基于非易失调谐的低频感应式磁传感器

一种基于非易失调谐的低频感应式磁传感器，包括传感单元结构和压电梁驱动的可调电容，所述的传感单元结构是在所述的基底上自下而上依次的超磁致伸缩层、多层阶梯型软磁薄膜、绝缘层、一体化平面激励线圈和平面感应线圈、绝缘层、多层阶梯型软磁薄膜、压电变压器层；本发明提高软磁薄膜的有效磁导率并同时降低激励电流频率外，还利用压电变压器层得到的升压电压和同步电致伸缩应力增强对软磁薄膜的交流驱动能力并减小器件功耗。同时通过超磁致伸缩材料产生的磁力加速磁畴运动，从而突破材料最大磁导率的瓶颈实现灵敏度进一步提升。最后本发明结合非易失调谐的机电谐振机理，为实现无源无线的超高分辨率和低功耗磁传感系统提供新思路和新方法。
上海交通大学
王遥 | 文玉梅 | 李平 | 陈蕾