一种基于辐射伏特效应和热电转换效应的芯片级核电池及其应用

本发明涉及一种基于辐射伏特效应和热电转换效应的芯片级核电池及其应用，该核电池由放射性同位素层，PIN结换能器件，热电换能器件和隔离防护层组成，提高了对β射线能量的利用率。利用MEMS加工工艺实现了PIN结换能器件和热电换能器件的高集成度和微型化制备，解决了传统工艺中的界面失效问题。此外，本发明的核电池具有可模块化的特点，可以通过串联形成电源组为集成电路供电。