一种PDMS微通道热沉、PDMS模具、硅模具及其制备方法

本发明公开了一种PDMS微通道热沉、PDMS模具、硅模具及其制备方法，其中，PDMS微通道热沉包括封装于一体的PDMS微通道和硅片，所述PDMS微通道内设置有一铁磁性柔性柱阵列，所述铁磁性柔性柱阵列包括多个铁磁性柔性柱，流体介质从一进液孔流入所述PDMS微通道，经所述铁磁性柔性柱阵列后由一出液孔流出。本发明PDMS微通道热沉可用于微通道单相液冷和两相流动沸腾散热。